快速退火炉的主要技术、行业特点

行业特点：芯片热处理设备（真空快速退火炉）广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产，和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中，通过快速热处理以改善晶体结构和光电性能，具有技术指标高、工艺复杂、专用性强的特点。产品特点：快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘1、真空快速退火炉，有真空型号(10mTorr )；快速

2022-03-08 量伙Z 410